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      電子氣體生產廠家 磷烷混合氣 PH3氣體

      保定 北方特種氣體有限公司,可以配比不同濃度,不同


      單價: 1,000.000/件
      品牌: 北方特氣
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       保定 北方特種氣體有限公司,可以配比不同濃度,不同鋼瓶容積的磷烷、砷烷、硅烷、硼烷等電子特氣。原廠品質,請放心購買。
      1%PH3+H2 1+/-0.03% PH3: 6N H2O≤0.1,CO2≤0.1,N2≤0.1,O2+Ar≤0.2,AsH3≤0.1,,THC≤0.1 48.8L CGA350 100KGf/cm2 H2:O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 440L DISS632 作用    在電子氣家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大,是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中?!?nbsp;   PH3 ,易燃、易爆、劇毒,其毒性 數為:PEL/TLV 0.3×10, STEL1×10,LC5020×1O,ZDLH200×10,屬劇毒危害品。 
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